【专利】一种变掺杂变组分AlGaAsGaAs核辐射探测器

发布者:方仪发布时间:2018-11-16浏览次数:485

本实用新型公开一种变掺杂变组分AlGaAs/GaAs核辐射探测器,该探测器结构为PIN结构,以nGaAs作为衬底层,在GaAs衬底层上采用金属有机物化学气相沉积技术顺序生长变掺杂变组分nAlGaAs N层、本征GaAs I层、变掺杂变组分pAlGaAs P层和pGaAs欧姆接触帽层;在变掺杂变组分AlGaAs/GaAs材料上沉积SiO2钝化层,在变掺杂变组分AlGaAs/GaAs材料及衬底上利用电子束蒸发技术分别形成p型和n型电极层;对形成的电极进行退火处理。本实用新型的优点在于:使得P区和N区内部产生内建电场,驱动产生的电子、空穴分别向两端定向运动,增加收集效率,提高探测器的灵敏度以及探测效率。该探测器可用于α射线和X射线等高能射线的探测。

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